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                            性能特点 性能介绍 工艺介绍 应用介绍 应用领域 相关分类

                            性能特点

                            ● 大流量化学品的稳定输送
                            ● 流量、压力、温度等的稳定控制
                            ● 化学品来料浓度实时验证
                            ● 双系统设计,使产能最大化
                            ● 全自动系统及设备供应管线冲洗
                            ● 可以客制化,占地面积小
                            ● 符合Semi S2要求

                            性能介绍

                            我司基于合作伙伴数十年半导体的流体输送经验和技术,根据对压力、温度和流量等的精准控制而制定的全面方案,实现化学品和气体稳定的、安全可靠的输配。TITAN?产品广泛应用在世界前十大半导体公司中。我司与合作伙伴的合作,旨在实现国外先进工艺机台的本土化生产,引进世界上最先进的技术产品,为客户提供最便捷的技术支持和售后服务。

                            工艺介绍

                            TITAN?可以将互为备用的化学容器中的原料输送到客户使用的大容器(比如340L)中。从化学品进料到使用区域的压力,该系统均可很精准的控制。对于TITAN?系列而言,系统流量监控、过滤器前后的压力监控、以及化学品进料的确认等都是标准配置。

                            应用介绍

                            ●光刻显影液混配和输送
                            ●湿法清洗和蚀刻液混配和输送
                            ●化学机械研磨混配和输送
                            ●厂务化学品输送
                            ●研发部门化学品的实验,混配和输送
                            应用领域
                            相关分类
                            ? 深圳怡钛积科技股份有限公司 版权所有     易百讯 - 深圳网站建设
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